JW-300A晶圓貼膜機

序號

項目

指標

單位

1

晶圓規(guī)格

4" 、 5" 、 6" 、 8" 、 12"

inch

晶圓厚度

300- 750

μm

晶圓材料

硅，砷化鎵或其他

晶圓工藝

單平邊，雙平邊，V型缺口

膠膜材料

藍膜或UV膜

膠膜規(guī)格

長：100

寬：120-240

厚：0.05-0.2

m

mm

mm

貼膜

防靜電滾輪， 自動拉膜。

晶圓臺盤結(jié)構(gòu)

通用(一體式)特氟龍防靜電涂層接觸式或硅膠臺盤或陶瓷臺盤

晶圓裝載方式

手動放置與取出

臺盤防靜電控制

防靜電特氟龍涂層

防靜電貼膜滾輪

除靜電離子發(fā)生器

切割環(huán)節(jié)設(shè)計

手動可調(diào)整環(huán)形切刀

刀頭帶獨立加熱機構(gòu)無任何飛邊

獨特的手動直切刀設(shè)計

晶圓定位

通用標線/彈簧銷釘

安全防護

配置緊急停機按鈕

電源

AC 電壓   220

AC 電流10

V

A